单工位大口径快速退火炉

供电电源

220V，50Hz

额定功率

10KW

石英管尺寸

Φ210*370mm（炉管直径可根据实际需要定制。）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

加热原件

电阻丝

控温精度

±5℃

热电偶类型

K型热电偶（内插）

控制方式

该系统人机界面+PLC控制，10寸液晶屏显，显示器可直接显示真空度、气体流量、热电偶温度、电机旋转速度等信息。

气路系统

标准量程（N₂)

1000sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

工作环境温度

5~45高纯气体 

真空系统

机械泵

抽气速率：4L/S

容油量：1.1L

电机功率：400W~

极限压强：6×10^-2Pa

分子泵

抽气速率：100L/S

极限压强：1×10^-4Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300转/分

冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时看，水冷。

分子泵控制器

电压：220V±22V

启动电流：≤7A

输入频率：47HZ—63HZ

最大输出功率：≤150W

最大加速电压：≤40V

加速时间：≤3min

频率（双速）：高速705HZ±10HZ

         低速430HZ±5HZ

复合真空计

测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

工作模式：手动/自动

电阻单元参数

规管型号：ZJ-52T电阻规

测量范围：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

电离单元参数

规管型号：ZJ-27电离规

可测范围：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

规管除气方式：焦耳去气

其他参数

控制路数：4路

控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度：±1%

采样时间：1S

电源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用环境温度：0℃~45℃

湿度：≤85%

连接管路

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s