低真空CVD系统

气路系统参数：

 质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）

 准确度：±1.5%

 线性：±0.5～1.5%

 重复精度：±0.2%

 响应时间：≤10sec

 工作压差范围：0.1～0.5 MPa

 最大压力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 显示：4位数字显示

 工作环境温度：5~45高纯气体             

 内外双抛不锈钢管：Φ6

 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止阀：Φ6

 连接头类型：双卡套不锈钢接头。

 备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数：

 抽速：10m³/h

 极限真空度：5*10^-1pa

 电源：220V 50HZ

 电机功率：0.4kw  

 进排气连接口：KF25

 用油量：1.1L

 电机转速：1440rpm

 工作环境温度：5-40℃

 噪音：≤56db

 电阻真空计参数：

 1.配用规管：电阻规，

 2.测量范围： 10⁵～10^-1Pa，

 3.测量路数： 1路

 4.控制范围： 5×10³～5×10^-1Pa，

 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W