大三温区滑轨CVD系统（低真空、高真空环境）

尺寸

1080×440×590mm ( 炉子)/2000×490×760mm ( 炉子+滑轨）

炉管尺寸

Ø50/Ø60/Ø80/Ø100/Ø130*2330mm(各管径可选）

加热区长度

300+300+300mm(900mm)

恒温区长度

500mm

工作温度

1100℃

最高温度

1200摄氏度

控温方式

模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

推荐升温速率

10-20℃/min

额定电压

AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

额定功率

7KW

供气系统

外形尺寸

600x600x650mm

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N2)

100、200、500sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%F.S.

线性

±0.5～1.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

低真空机组

工作环境

5℃～40℃

空气相对湿度

≤85%

工作电电压

220V±10% 50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25