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国产高真空机组

简要描述:贝意克主要从事实验室仪器设备的研发生产,主营各类型箱式炉、管式炉、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控溅射、真空镀膜、薄膜制备、纳米材料制备装备、各种高精度真空箱以及各类非标定制,产品领域涉及科研、光电产业化、半导体、军工等高科技产业。公司致力于提供专业的设备、技术和服务,助力全球新材料研发。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-09-28
  • 访  问  量:88

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详细介绍

品牌自营品牌输送介质其他
泵轴位置其他叶轮数目其他
应用领域化工,能源,电子,电气

国产高真空机组 VAU-05G

  1.技术指标:

环境温度

5-32℃

空气相对湿度

≤85%

工作电压

AC220V±10% 50/60Hz

功率

1KW

系统整体极限真空度

5.0*10-5pa

实验真空度

5.0*10-3pa

外形尺寸

600*600*650mm

 

  2.主要配置:

主要配置

技术参数

机械泵

抽气速率:4L/S

容油量:1.1L

电机功率:400W

极限压强:6×10-2Pa

分子泵

抽气速率:100L/S

极限压强:6×10-6Pa

启动时间:<2min

额定转速:4300转/分

冷却方式:环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷。

分子泵控制器

电压:220V±22V

启动电流:≤7A

输入频率:47HZ—63HZ

最大输出功率:≤150W

最大加速电压:≤40V

加速时间:≤3min

频率(双速):高速705HZ±10HZ

                     低速430HZ±5HZ

复合真空计

测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)

工作模式:手动/自动

电阻单元参数

测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围:2.5×10>3Pa~5.0×10-1Pa

电离单元参数

可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管除气方式:焦耳去气

其他参数

控制路数:4

控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度:±1%

采样时间:1S

电源:220V±10% 50HZ

功耗:50W

使用环境温度:0℃~45℃

湿度:≤85%

连接管路

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s


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