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供气系统

简要描述:该供气系统( 1路质子 2路浮子)是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-10-14
  • 访  问  量:357

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品牌其他品牌产地类别国产
应用领域环保,化工,能源,电子

   供气系统的主要特点该(1路质子 2路浮子)是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观,实用,操作简便。流量显示准确,可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

   供气系统技术参数

产品型号
GMF-1Z-2F
浮子流量计
10-100ml/min
16-160ml/min
25-250ml/min
(浮子流量计的量程可根据用户需要选订)
质量流量控制器
工作电压:
185~245V 50HZ
最大输出功率:
18W
流量计标准量程:
100sccm 、200sccm 、500sccm
(非特殊以氮气标定,量程可选)
工作温度:
5~45℃
工作压差:
0.1~0.5MPa
最大压力:
3MPa
准确度:
±1.5% FS
机械压力表
测量范围:
-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
针阀
316不锈钢
混气罐
Φ80×120mm
截止阀
Φ6mm  316不锈钢针阀
尺寸
600×600×650 mm

 


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