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等离子溅射仪

简要描述:频率 13.56MHZ
最高输出功率 100W(300W可以选配)

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-22
  • 访  问  量:282

详细介绍

品牌贝意克价格区间面议
仪器种类箱式炉产地类别国产
应用领域化工,能源,电子,电气,综合
主要特点:

输入电源

AC220V、50/60HZ

最高输出功率

100W(300W可以选配)

频率

13.56MHZ

同调方式

手动2轴同调方式(可以选配自动)

靶材

大小2英寸厚度最大5mm

靶头到基片距离

30mm-100mm

平台转速

5r/min

反应腔室

Φ195*238不锈钢腔室

填充气体

氩气或氮气

进气口接头

Φ6卡套接头

观察窗尺寸

Φ148

外形尺寸

560*550*600

可根据客户要求选配(金银铜等或氧化物靶材)、泵和冷水机3000型。

安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,隶属百思集团,其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥莱德装备技术有限公司、天津百诺金科技有限公司、合肥欧莱迪光电技术有限公司、安徽贝意克智能科技有限公司。贝意克公司于2020年在合肥投资5亿元新建5万平米贝意克智能装备产业园。设有贝意克工程设计中心,贝意克工程技术中心,贝意克联合实验室等研发公共服务平台。

贝意克主要从事实验室仪器设备的研发生产,主营各类型箱式炉、管式炉、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控溅射、真空镀膜、薄膜制备、纳米材料制备装备、各种高精度真空箱以及各类非标定制,产品领域涉及科研、光电产业化、半导体、军工等高科技产业。

公司致力于提供专业的设备、技术和服务,助力全球新材料研发。

 

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邮箱:besteq@163.com
传真:86-0551-65148123
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