多功能回转CVD系统

额定功率

10KW

额定电压

AC 220V

（L+N+PE）2P  63A空开

最高温度

1400℃

持续工作温度

≤1300℃

推荐升温速率

≤10℃/min

加热区数量

2区，独立控温

加热区长度

300+300mm

热电偶

S型热电偶

控温方式

人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制

控温精度

±1℃

加热元件

硅碳棒

腔体尺寸

中间外径Ø100* 端头外径Ø60*长度1400mm

管径尺寸

Φ60*1400mm

炉膛保温材料

氧化铝纤维

表面温度

≤60℃

金属密封法兰

磁流体密封法兰

控制器

可编程控温仪表，PID调节，升、降保温全自动

无纸记录

内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口可以电脑连接一键拷贝数据

三路供气系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

流量计类型

浮子流量计（3个），量程可选

最大压力

3MPa

接口

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6卡套接头

真空系统

空气相对湿度

≤85%

工作电电压

220V±10% 50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

10m³/h

实验真空度

5.0X10^-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

噪音

50dB

真空计

配用规管

ZJ-52T电阻规

测量范围

10 ⁵ ～10 ^-1 Pa

测量路数

1路

控制范围

5×10 ³ ～5×10 ^-1 Pa

控制方式

继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W