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非气态源化学气相沉积系统

简要描述:非气态源化学气相沉积系统
1.前驱体灌温度可达400℃;
2.温度独立可调;
3.固态或液态前驱体在一定温度下蒸发后通过惰性气体带入反应区域参与的一些CVD反应。

  • 产品型号:BTF-1200C-S-SL-CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-06-23
  • 访  问  量:89

产品分类

Product Category

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域综合

主要特点

  非气态源化学气相沉积系统由电动滑轨式管式炉、三路供气系统、真空及过滤系统、前驱体鼓泡装置,气体预热装置、软件控制等部分组成。适用于前驱体为非气态源,如固态或液态前驱体,前驱体灌温度可达400℃,且温度独立可调,固态或液态前驱体在一定温度下蒸发后通过惰性气体带入反应区域参与的一些CVD反应。

非气态源化学气相沉积系统设备结构

1.    左右两端进气抽气可相互切换;提高基体上涂层的均匀性;

2.    炉体底部在电机带动下可在导轨上水平移动,移动速度根据工艺需要可设置。  

3.    采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。

4.    供气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计,流量计的量程可选,真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。

技术参数:

加热系统

Most高温度

1200℃(1 hour)

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ40*800mm(炉管直径可根据实际需要定制。)

炉膛材料

高纯氧化铝纤维

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定,

‚操作界面为10”工控电脑,内置PLC控制程序

加热长度

150mm

恒温长度

70mm

加热原件

电阻丝

供电电源

220V,50Hz

额定功率

2KW

 

三路质子流量控制系统

连接头类型

Φ6mm双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

100sccm,100sccm、200sccm;(可根据用户要求定制

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

Most大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

真空机组

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进排气口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

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