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回转CVD设备

简要描述:回转CVD设备:
1、本设备提供一个五温区的超长温场,五个温区可独立控制
2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,上下可电动开启。
3、流量计和加热采用模块化设计,便于维护保养。
4、加热元件采用康泰尔掺钼合金电阻丝,z高使用温度可以达到1200度,使用寿命长,温场流场均匀。
5、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。
6、设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便

  • 产品型号:BTF-1200C-V-R-280
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-08-11
  • 访  问  量:81

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域综合

回转CVD设备组成:

加热系统,炉管转动系统,螺旋送料系统、供气系统、真空系统、工控及操作系统。

 

 

1、回转CVDS加热系统:

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

 

2、炉管转动系统:

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。

 

3、螺旋送料器:

先将样品储存于样品罐中,通过螺旋送料器将样品送入石英管内。样品送完之后送料杆退回到原始位置。周而复始,达到自动送料。

4、供气系统:

供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成,触摸屏控制。

5、真空系统:

真空机组,内部安装BSV-60机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。

 

 

三、加热主体设备技术参数:

 

腔体尺寸

外径Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可选 (中间异型区域尺寸)

炉膛保温材料

氧化铝纤维

表面温度

≤60℃

加热元件

进口KTL电阻丝

加热区数量

5区,每个温度独立控制,使温场均匀性更好

加热区长度

300+300+300+300+300mm

恒温区长度

真空条件两端加氧化铝管堵的情况下,两个温区设定同一温度是恒温区可达1200mm

z高温度

1200℃

建议长时间使用温度

<1100℃

控温精度

±1℃

升温速率

0-20℃/min,建议升温速率10℃/min

设备功率

28KW

设备工作电源

380V/50HZ

热电偶型号

K型

控制器

可编程控温仪表,PID调节,升、降保温全自动

控温方式

人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制

无纸记录

内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据

结构描述

设备可对半电动开启,加快冷却速度、表面温度低于60℃

转动密封收集系统

炉管一端配有不锈钢密封可转动水冷法兰、螺旋送料装置

 

四、3路供气系统参数

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型号根据要求定制)

zda压力

3MPa

接口

Φ6

显示

液晶屏显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6卡套接头

 

五、真空机组参数:

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

60m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

电阻真空计参数:

配用规管:

ZJ-52T电阻规,

测量范围:

10 5 ~10 -1 Pa,

测量路数:

1路

控制范围:

 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

控制方式:

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

功耗:

20W

 

 

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