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1700度高温CVD系统 (高真空 低真空可选)

简要描述:BTF-1700C-CVD1700度高温CVD系统 (高真空 低真空可选)是由1700度管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统(或选配低真空系统)所组成。

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-09-27
  • 访  问  量:1338

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别进口
应用领域电子,综合

设备1700度高温CVD系统 (高真空 低真空可选)特点

  此款1700℃高温CVD系统,是由1700度管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统(或选配低真空系统)所组成。此设备主要用于:真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境. 设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便;设备的各项技术参数,30段可编程温控系统更是一目了然,使整个实验的运行状态尽在您的掌控之中。

1700度高温CVD系统 (高真空 低真空可选

加热区参数

 炉管尺寸:Φ60/80×1000mm(管径可选)

 加热元件:硅钼棒

 加热区长度:300mm

 恒温区长度:150mm

 工作温度:1550℃

 最高温度:1650℃

 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

 控温精度:±1℃

 推荐升温速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

 工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

 额定功率:5.2 KW

 外型尺寸:610×440×720 mm

 标准配件:高纯刚玉管1支,氧化铝管堵2对,不锈钢法兰1套,氟胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支,小保险1个;

 密封系统:炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展。

气路系统参数

 

 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

 准确度:±1.5%

 线性:±0.5~1.5%

 重复精度:±0.2%

 响应时间:≤10sec

 工作压差范围:0.1~0.5 MPa

 最大压力:3MPa

 接口:Φ6,1/4''

 显示:4位数字显示

 工作环境温度:5~45高纯气体

 内外双抛不锈钢管:Φ6

 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止阀:Φ6

 连接头类型:双卡套不锈钢接头。

 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计

低真空系统参数

 

 抽速:10m³/h

 极限真空度:5*10-1pa

 电源:220v 50hz

 电机功率:0.4kw  

 进排气连接口:KF25

 用油量:1.1L

 电机转速:1440rpm

 工作环境温度:5-40℃

 噪音:≤56db

 电阻真空计参数:

 1.配用规管:电阻规,

 2.测量范围: 105~10-1 Pa,

 3.测量路数: 1路

 4.控制范围: 5×103~5×10-1Pa,

 5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

 6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

 7.功耗: 20W

 采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接

高真空系统参数

 

 空气相对湿度:≤85%

 工作电压:AC220V±10%  50/60HZ

 功率:1KW

 系统整体极限真空度:10-5Pa

 实验真空度:10-3Pa

 外形尺寸:850×600×650mm

 机械泵:

 抽气速率:10m³/h

 容油量:1.1L

 电机功率:400W

 极限压强:6×10-2Pa

 分子泵:

 抽气速率:100L/S

 极限压强:6×10-6Pa

 启动时间:<2min

 额定转速:4300转/分

 冷却方式:环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷。

 分子泵控制器:

 电压:220V±22V

 启动电流:≤7A

 输入频率:47HZ~63HZ

 最大输出功率:≤150W

 最大加速电压:≤40V

 加速时间:≤3min

 频率(双速):高速705HZ±10HZ

                        低速430HZ±5HZ

 复合真空计:

 测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)

 工作模式:手动/自动

 电阻单元参数

 规管型号:电阻规

 测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

 有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

 控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

 电离单元参数

 规管型号:电离规

 可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

 有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

 控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

 规管除气方式:焦耳去气

 其他参数

 控制路数:4路

 控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆

 控制精度:±1%

 采样时间:1s

 电源:220V±10% 50HZ

 功耗:50W

 使用环境温度:0℃~45℃

 湿度:≤85%

 连接管路:采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s,采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

备注:

可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。


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