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当前位置:首页 > 产品中心 > > 石墨烯生长专用设备 > BTF-1200C-CVD石墨烯生长

石墨烯生长

简要描述:低真空CVD石墨烯生长系统是由1200度开启式管式炉、精密的质量流量控制系和真空系统所组成。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

  • 产品型号:BTF-1200C-CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-10-14
  • 访  问  量:333

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别进口
应用领域电子,综合

  石墨烯生长系统主要特点:该设备是由1200度开启式管式炉、精密的质量流量控制系和真空系统所组成。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

 1.石墨烯生长系统加热系统

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

石英管尺寸

Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1000mm

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定。

加热长度

440mm

恒温区长度

200mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相,220V,50Hz

2、三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

200sccm,500sccm、1000sccm(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

3、低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连




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