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化学气相沉积

简要描述：迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统
本款设备可以做金属复合石墨烯材料，是目前先进的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池，提升电池内阻和能量密度，有效解决新能源汽车电池的问题。

产品型号：BTF-1200C-R-S-PECVD
厂商性质：生产厂家
更新时间：2021-10-14
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管式炉

磁力拉杆管式炉多通道管式炉高温立式管式炉真空气氛管式炉化学气相沉积快速升温炉等离子体增强

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详细介绍

品牌	贝意克	价格区间	面议
仪器种类	回转炉	产地类别	国产
应用领域	环保,化工,能源,电子

迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统

1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；

2.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD）,系统可以实现连续滑动温区，连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以实现低压条件下的实验，针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。

化学气相沉积的技术参数：

型号	BTF-1200C-S-R-PECVD
显示模式	7"液晶触屏显示
最高温度	1200℃
升温速率	10℃/S
加热区长度	230mm
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝
热电偶	K型
控温方式	7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸	Φ25*800mm
炉管转速	3~13r/min
倾斜角度	0~35°
加热功率	3KW
射频功率输出范围	0~500W
供气系统	标配三路质量流量计（50/100/200sccm）
供电电源	220V50Hz
通讯接口	USB
外形尺寸	1600mm650mm1400mm
设备净重	约220KG

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