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    BTF-1200C-RP-PECVD等离子体增强

    更新时间:2021-10-14

    型号:BTF-1200C-RP-PECVD

    浏览量:329

    连续进出料等离子体增强:可实现连续可控温度以及等离子强度等,配备真空系统,可以低压条件下实现工艺,整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光相对均匀等效,解决了传统等离子工作不稳定状态,炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间,所有物料经过的管道都选用非金属材质,如:进出料腔体选用石英材质,推料杆选用石英及聚四氟材质。
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