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    BTF-1200C-RP-PECVD等离子体增强

    更新时间：2021-10-14

    型号：BTF-1200C-RP-PECVD

    浏览量：1581

    连续进出料等离子体增强:可实现连续可控温度以及等离子强度等，配备真空系统，可以低压条件下实现工艺，整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光相对均匀等效，解决了传统等离子工作不稳定状态，炉管可360°旋转，有助于粉料的烧结更均匀，可大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-35°之间，所有物料经过的管道都选用非金属材质，如：进出料腔体选用石英材质，推料杆选用石英及聚四氟材质。
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