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1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)

简要描述:BTF-1200C-II-CVD1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)是由1200℃双温区开启式管式炉、三路质量流量计及低真空系统组成,根据工艺要求亦可选配高真空系统。设备可以抽真空通气体保护。

  • 产品型号:BTF-1200C-II-CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-09-27
  • 访  问  量:79

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别进口
应用领域电子,综合

设备1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)特点

  此套设备是由1200℃双温区开启式管式炉、三路质量流量计及低真空系统组成,根据工艺要求亦可选配高真空系统。设备可以抽真空通气体保护。气动弹簧支撑结构使开启更加方便、简捷,使用者可直接将样品放到恒温区加热,在快速降温过程,透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头,减去了取放料时的繁琐操作, 炉管工件横穿与上下各8组进口电阻丝的炉膛,温场均匀,内外温差可控制在3度左右。此款系统广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)

 

加热区参数

 加热元件:电阻丝

 加热区长度:200+200mm

 恒温区长度:100+100
 工作温度:1100℃
 最高温度:1200℃
 最大升降温速率:≤30℃/min

 推荐升温速度:15度/分钟

 炉管:高纯度石英管Φ25506080100x1000mm  (管径可选)

 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

 控温精度:±1℃

 炉门结构:开启式
 工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

 额定功率: 5KW

 标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支;

 外型尺寸:590×380×600mm

 可选配单温区、三温区等加热区。

气路系统参数

 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

 准确度:±1.5%

 线性:±0.5~1.5%

 重复精度:±0.2%

 响应时间:≤10 sec

 工作压差范围:0.1~0.5 MPa

 最大压力:3MPa

 接口:Φ6,1/4''

 显示:4位数字显示

 工作环境温度:5~45高纯气体  

 内外双抛不锈钢管:Φ6

 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止阀:Φ6

 连接头类型:双卡套不锈钢接头。

 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

低真空系统参数

 

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

电源:220V 50HZ

电机功率:0.4kw  

进排气连接口:KF25

用油量:1.1L

电机转速:1440rpm

工作环境温度:5-40℃

噪音:≤56db

电阻真空计参数:

1.配用规管:电阻规,

2.测量范围: 105~10-1Pa,

3.测量路数: 1路

4.控制范围: 5×103~5×10-1Pa,

5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

高真空系统参数

 

空气相对湿度:≤85%

工作电压:AC220V±10%  50/60HZ

功率:1KW

系统整体极限真空度:10-5Pa

实验真空度:10-3Pa

外形尺寸:850×600×650mm

机械泵:

抽气速率:10m³/h

容油量:1.1L

电机功率:400W

极限压强:6×10-2Pa

分子泵:

抽气速率:100L/S

极限压强:6×10-6Pa

启动时间:<2min

额定转速:4300转/分

冷却方式:环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷。

分子泵控制器:

电压:220V±22V

启动电流:≤7A

输入频率:47HZ~63HZ

最大输出功率:≤150W

最大加速电压:≤40V

加速时间:≤3min

频率(双速):高速705HZ±10HZ

                        低速430HZ±5HZ

复合真空计:

测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)

工作模式:手动/自动

电阻单元参数

规管型号:电阻规

测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

电离单元参数

规管型号:电离规

可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管除气方式:焦耳去气

其他参数

控制路数:4路

控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度:±1%

采样时间:1s

电源:220V±10% 50HZ

功耗:50W

使用环境温度:0℃~45℃

湿度:≤85%

连接管路:采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

备注:

根据工艺要求可选配低真空或高真空系统

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