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连续进出料回转CVD生长设备

简要描述:连续进出料回转CVD生长设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间。

  • 产品型号:BTF-1200C-II-R-CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-09-27
  • 访  问  量:111

产品分类

Product Category

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别进口
应用领域电子,综合

1、连续进出料回转CVD生长设备主要特点

  该设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间。

  2、设备组成:加热系统,进料系统,出料系统,气体控制系统,低真空系统,炉管转动系统,电控操作系统。

  (1)加热系统:

  该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

  高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

额定功率

4KW

额定电压

AC220V  50/60Hz

最高温度

1200度

使用温度

1100度

炉管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

 

炉管旋转速率

0~60r/min

炉体倾斜角度

0~35°

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定,

操作界面为10"液晶触摸屏控制

加热长度

200mm+200mm

恒温长度

250mm

加热元件

电阻丝

       (2)连续进出料回转CVD生长设备进料系统:

  送料系统速度连续可调,停止送料且炉体倾斜最大时,物料不会从送料系统外漏,送料系统方便拆卸,拆卸后可手动加料,设备可正常运行。

  (3)出料系统:

  出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。

  (4)气体控制系统:

  该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的,也可以独立控制,质量流量计安装于密封的可移动的机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

第一路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

第三路量程可选

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

       (5)低真空系统:

  该系统配备真空机械泵,可以抽真空,可以让设备在真空环境下进行反应。

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连  

       (6)炉管转动系统:

  炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。

 

  3.技术指标:

  (1)该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

  (2)整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间可调;

  (3)送料系统送料速度连续可调,停止送料且炉体最大倾斜时,物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸,拆卸之后可以手动加料,设备可正常运行。

  (4)炉管回转稳定,不会上下左右跳动;转速在0~60r/min连续可调,能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)。


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