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等离子体增强回转PECVD系统

简要描述:等离子体增强回转PECVD系统 主要特点
我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。

  • 产品型号:BTF-1200C-R-PECVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-11-10
  • 访  问  量:228

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详细介绍

品牌贝意克价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别国产
应用领域环保,化工,能源,电子

等离子体增强回转PECVD系统 

该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0~35°可调。

此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。

等离子体增强回转PECVD系统 技术参数Technical Parameters


Furnace加热炉

Max. Tem最高温度

1200℃

Heating zone length加热区长度

440mm

Constant zone length恒温区长度

200mm



Temperature Controller

控温方式


模糊PID控制和自整定调节


智能化30段可编程控制


超温和断偶报警功能


操作界面为7"工控电脑

Heating Elements

加热元件


电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

Temperature Accuracy

控温精度

+/- 1℃

Processing tube

炉管


尺寸:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm


炉管转速:3~13r/min

Furnace body inclination angle

0~35°(adjustable)

PE source PE源

Signal frequency信号频率

13.56 MHz±0.005%

Power output range功率输出范围

0-500W

RF output interface射频输出接口

50 Ω, N-type, female

Power stability功率稳定性

≤5W

Gas supply system气路系统

High precision mass Flowmeter(Range optional)

高精度质量流量计(量程可选)

Accuracy准确度

±1.5%

Response accuracy响应精度


·±0.2%

Response time响应时间



气特性


电特性

Working pressure difference range工作压差范围


0.1~0.5MPa

Max. pressure最大压力


·3MPa

Connection 连接头类型



Φ6mm双卡套不锈钢接头


Vacuum unit真空系统

KF25 series bellows and manual stopper valves

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

Vacuum up to10-1Pa

真空度可达10-1Pa

The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester  

数显真空测试仪可直观的显示数值



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