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等离子体增强回转PECVD系统

简要描述：等离子体增强回转PECVD系统主要特点
我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。

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等离子体增强回转PECVD系统

该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0~35°可调。

此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。

等离子体增强回转PECVD系统 技术参数Technical Parameters

Furnace加热炉
Max. Tem最高温度	1200℃
Heating zone length加热区长度	440mm
Constant zone length恒温区长度	200mm
Temperature Controller 控温方式	模糊PID控制和自整定调节智能化30段可编程控制超温和断偶报警功能操作界面为7"工控电脑
Heating Elements 加热元件	电阻丝（掺钼铁铬铝合金）
Temperature Accuracy 控温精度	+/- 1℃
Processing tube 炉管	尺寸：Φ60420+Φ100360+Φ60*420mm 炉管转速：3~13r/min
Furnace body inclination angle	0~35°（adjustable）
PE source PE源
Signal frequency信号频率	13.56 MHz±0.005%
Power output range功率输出范围	0-500W
RF output interface射频输出接口	50 Ω, N-type, female
Power stability功率稳定性	≤5W
Gas supply system气路系统
High precision mass Flowmeter（Range optional）	高精度质量流量计（量程可选）
Accuracy准确度	±1.5%
Response accuracy响应精度	·±0.2%
Response time响应时间	气特性电特性
Working pressure difference range工作压差范围	0.1～0.5MPa
Max. pressure最大压力	·3MPa
Connection 连接头类型	Φ6mm双卡套不锈钢接头
Vacuum unit真空系统
KF25 series bellows and manual stopper valves	采用KF25系列波纹管和手动挡板阀
Vacuum up to10-1Pa	真空度可达10-1Pa
The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester	数显真空测试仪可直观的显示数值

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