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    智能PECVD设备是目前最新型的一款设备,将所有的控制部分集为一体,此款设备是我司于2013年研发成功的,可配备PE射频电源,将CVD系统升级为PECVD。当参与反应的气氛进入炉管在射频电源的作用下产生离子体,可使反应更加充分。同时等离子体起增强的作用,从而很大程度上优化实验的工艺条件。
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    更新时间:2021-09-30

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    产品简介:本设备主要针对实验石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
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