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    BTF-1200C-R-PECVD等离子体增强回转PECVD系统

    更新时间：2021-11-10

    型号：BTF-1200C-R-PECVD

    浏览量：1443

    等离子体增强回转PECVD系统 主要特点 我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。
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