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BTF-1200C-R-PECVD等离子体增强回转PECVD系统
更新时间:
2021-11-10
型号:
BTF-1200C-R-PECVD
浏览量:
604
等离子体增强回转PECVD系统 主要特点 我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。
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